作為測量基準的是帶有雙坐標高精度相位光柵的鋼質光柵尺，讀數頭部分在測量時和鋼質光柵尺之間也是不接觸的。在安裝狀態下，讀數頭通過安裝小車和鋼質光柵尺體相連。測量時，只需將尺體與運動方向平行放置在床臺上，讓讀數頭通過磁力吸附在機床的運動部件（如主軸）上，并撤離安裝小車即可。

　　精度檢測作圓周測試時，數控系統在加工平面內控制機床軸進行圓弧插補。使用EFG進行圓周和自由曲線測試時，所需機床數控程序的編程很簡便。分析軟件DG詢問所有和測試相關的參數后自動生成相應的數控程序。程序通過數控系統的數據接口直接傳輸到機床系統中。圓周測試的分析結果可以用于推測機床誤差的來源，如"機床軸與軸之間的正交誤差；象限過渡時的反向脈沖；反向間隙；數控系統補償數據不適用；機床部件的不均勻熱膨脹；機床軸的偏擺誤差；不同進給速度的影響；不同進給加速度的影響等。

　　自由曲線測試顧名思義允許對機床在一個平面內進行的任何運動進行測試。例如，通過過角測試可以衡量控制環動態性能的一個重要指標：過沖特性和由此決定的（因過切造成的）倒圓角誤差。階躍響應測試階躍響應測試用于測量進給系統的實際*小運動步距，這也是反映靜摩擦力的影響和進給系統穩定保持在一個位置能力的指標。這項測試常被用在高精度機床檢測上。EFG和IG都可以用作階躍響應測試。DG分析軟件允許測試結果以位移！時間或速度時間形式來表達。采用海德漢雙坐標光柵進行靜態動態精度測試簡單、準確、可靠，還允許快速、自動存檔。和只分析被加工工件精度的機床分析方法相比，本文所述的方法更加有效，因為只有這樣才可以將加工工藝的因素和機床本身的因素分開，便于對機床的各個方面進行更有效分析。